研究機器
研究室で管理＆使用している機器。
この他にＣＲＣに設置されているFE-SEM(S-4100)、TEM(JEM2010), EPMA(C1), XRD(Rint2200V/PV)などを使用して研究を行っています。
○ 成膜装置・ナノ粒子作製装置
３ターゲットＤＣ／ＲＦマグネトロンスパッタ装置 ＤＣ／ＲＦマグネトロンスパッタ装置
島津HSR-521A NEVA FP-46改
真空蒸着装置１ 真空蒸着装置２
真空蒸着装置３ 真空蒸着／ガス中蒸発法ナノ粒子作製装置
○ 測定装置
振動試料型磁力計1 東英工業VSM-5S 振動試料型磁力計2 東英工業 VSM-P2H
Hmax
16kOe -190～400 ℃ Hmax
300Oe R.T.
X線回折装置 Rigaku RAD改 磁気抵抗効果測定装置（自作）
触針式表面粗さ計 Dektak3 SPM(STM, AFM, NC-AFM, MFM, EFM) TMX-2000
（ＣＲＣ）より管理委託
SPM(AFM,NC-AFM) JSPM-4200（共同管理） ESCA ESCA-1000（共同管理）
○ その他
遠心器 KOKUSAN H-103N 電磁石 JEOL 最大12kOe
50cc×4, 4620G ギャップ65mm, ポールピース径300mm